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Mitutoyo開發(fā)出世界上精度最高的非接觸式影像測量儀
發(fā)布時間：2016-08-30 點擊次數(shù)：1317次
TESA測高儀介紹Mitutoyo開發(fā)出世界上最高測量精度為（0.3＋L/1000）μm（L為被測量物體長度）的非接觸式影像測量儀。
該公司計劃將其做為 “QuickVision系列”的最高端機(jī)種“Ultra QV”2000年10月推向市場。標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)價格為3000萬日元，預(yù)計第一年向半導(dǎo)、平面顯示器以及精密模具制造商等銷售20臺。另外，該產(chǎn)品還將參加2000年6月14日～16日在橫浜舉行的“納米級光學(xué)技術(shù)博覽2000”展覽會。
該產(chǎn)品，將用于高精度3維測量儀的高剛性靜壓空氣軸承用于各軸的定向器，從而大幅度提高了直線精度。另外，在基準(zhǔn)測長系統(tǒng)中，還配備了采用超高精度結(jié)晶玻璃 的光學(xué)式線性編碼器，這種超高精度結(jié)晶化玻璃的熱膨張系數(shù)為零，系該公司獨自開發(fā)。另外，在統(tǒng)一了主要結(jié)構(gòu)零部件的材質(zhì)的同時，還將結(jié)構(gòu)本身按照熱對象進(jìn) 行設(shè)計，從而減少了溫度變化所帶來的影響。通過這些措施實了目前世界最高的測量精度。測量范圍為X，Y軸350mm,Z軸為150mm，最小顯示量為 0.01μm。
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